氮气纯化装置根据用户的不同要求分为以下三种方式：
一、加氢脱氧型
本装置用于含氧量≤3%的氮气纯化，纯化后、气体纯度（≥99.9995%）、氧含量（≤5ppm），露点(≤-60℃)，特殊要求露点可达到(≤-70℃)。并含有少量氢气（≤1000ppm），适用于对纯化气体含氢量没有特殊要求的生产工艺使用。
流程原理：本系列装置系采用催化脱氧+吸附干燥方法，除去氮气中的氧、水、二氧化碳和尘埃等杂质，获取高纯氮气。
流程图如下:
二、加氢脱氧脱氢型
本装置适用于含氧量≤3%的氮气和惰性气体纯化，纯化后，气体纯度（≤99.9995%）、纯净气体含氧、氢量均（≤5ppm），露点（≤-60℃）、特殊要求露点可达到(≤-70℃)。可满足各种高科技工艺过程的特殊要求。
流程原理：本系列装置系采用催化脱氧+化学吸附脱氢+吸附干燥方法，除去氮气中的氧、水、二氧化碳、微量氢气和尘埃等杂质，获取高纯氮气。
流程图如下:
三、 碳脱氧型
本装置适用于氢气来源较困难的且对纯净氮气中氢气含量有要求的的特殊要求的用户使用。
流程原理：本装置是专门为无氢气或不要使用氢气而设计的惰性气体纯化设备。以99.9%氮气为原料，在350℃下，采用燃烧法直接除去氧杂质，经过纯化后，气体纯度（≥99.9995%）、纯净气体含氧、二氧化碳量均（≤5ppm），露点（≤-60℃）、特殊要求露点可达到(≤-70℃)。可满足各种高科技工艺过程的特殊要求。
流程图如下:
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